工業(yè)粒子加速器應用無油超高真空泵

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Canon anelva 912-7125 是一款離子泵，標稱抽速 20 L/s（對氮氣），工作范圍約 1×10?1 Pa 到 1×10?? Pa，啟動壓力需低于 1.3 Pa。泵體入口為 φ70 ICF，內部容積 1.4 L，重量約 10.5 kg，標稱可烘烤溫度 250 ℃。該泵不使用油，依靠冷陰極放電和鈦濺射吸氣，運行時不產生振動，適用于表面分析、電鏡等需要清潔真空的環(huán)境

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