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產品資料
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半導體水處理高精度在線監(jiān)視濃度顯示器

產品名稱: 半導體水處理高精度在線監(jiān)視濃度顯示器
產品型號: EG-3000
產品特點: 半導體水處理高精度在線監(jiān)視濃度顯示器
日本 ejooo 臺式高精度臭氧濃度顯示器 EG-3000 是一款實驗室 / 潔凈間級專用臭氧監(jiān)視器,適用于半導體、液晶、水處理、食品殺菌等場景的在線監(jiān)測與數(shù)據(jù)記錄。核心信息如下:
測定原理
紫外吸收法(UV-254 nm),符合 JIS B 7957、US EPA EQOA-0914-003 要求,零點無漂移,無需化學試劑。
量程與精度
標準量程:0 – 1

半導體水處理高精度在線監(jiān)視濃度顯示器 的詳細介紹

半導體水處理高精度在線監(jiān)視濃度顯示器

半導體水處理高精度在線監(jiān)視濃度顯示器

日本 ejooo 臺式高精度臭氧濃度顯示器 EG-3000 是一款實驗室 / 潔凈間級專用臭氧監(jiān)視器,適用于半導體、液晶、水處理、食品殺菌等場景的在線監(jiān)測與數(shù)據(jù)記錄。核心信息如下:
  1. 測定原理
    紫外吸收法(UV-254 nm),符合 JIS B 7957、US EPA EQOA-0914-003 要求,零點無漂移,無需化學試劑。
  2. 量程與精度
    • 標準量程:0 – 1.000 ppm(Vol)
    • 可選量程:0 – 100 ppm / 0 – 1 000 ppm(EG-3000-H)
    • 分辨率:1 ppb(0.001 ppm)
    • 線性度:±1 % F.S.
    • 重復性:±0.5 % F.S.
    • 響應時間:T90 ≤ 30 s(樣氣流量 0.8 L/min)
  3. 樣氣條件
    • 流量:0.5 – 1.0 L/min(內置泵抽吸)
    • 溫度:5 – 45 ℃
    • 濕度:< 85 %RH(無凝露)
    • 壓力:大氣壓 ±10 kPa(可配減壓閥)
  4. 顯示與輸出
    • 7 英寸彩色觸控,實時數(shù)字 + 曲線同屏
    • 單位切換:ppm / mg/m3 / ppb
    • 接口:USB ×2、RS-485(Modbus-RTU)、4-20 mA、報警接點 ×2
    • 數(shù)據(jù)記錄:內置 8 GB,1 s – 60 min 間隔,CSV 導出
  5. 功能特點
    • 自動校零:內置臭氧洗滌器,一鍵校零,無需外接零氣
    • 自動跨度校準:可選內置臭氧發(fā)生器(EG-3000-CAL),5 min 完成 0.8 ppm 跨度標定
    • 高低報警:可設兩級閾值,聲光 + 繼電器輸出
    • 菜單語言:日/英/中切換
    • 臺式/面板兩用:附折疊支架,亦可 96 × 96 mm 面板嵌入
  6. 應用示例
    • 半導體潔凈室:光刻、清洗工序 O? 殘留監(jiān)測
    • 液晶面板:干法蝕刻后臭氧分解設備效率確認
    • 水處理:臭氧接觸池尾氣 0-1 ppm 監(jiān)控
    • 食品/醫(yī)療:殺菌室泄露檢測,確保 < 0.1 ppm 人員安全限
  7. 維護與耗材
    • UV 燈壽命:約 8 000 h(可現(xiàn)場更換)
    • 臭氧洗滌器顆粒:每 12 個月更換一次
    • 進氣過濾器:每 6 個月更換(可水洗重復使用 2 次)
  8. 主機規(guī)格
    • 尺寸:W 220 × D 280 × H 120 mm,重量 3.2 kg
    • 電源:AC 100-240 V 50/60 Hz 40 W
    • 防護:IP30(可選 IP54 攜帶箱)
一句話:EG-3000 采用 UV-254 nm 吸收法,0-1 ppm 段分辨率達 1 ppb,內置泵與自動校零,可臺式或面板安裝,適合半導體、液晶、水處理等場景對臭氧進行高精度在線監(jiān)視與數(shù)據(jù)記錄。
日本 ejooo 臺式高精度臭氧濃度顯示器 EG-3000 是一款實驗室 / 潔凈間級專用臭氧監(jiān)視器,適用于半導體、液晶、水處理、食品殺菌等場景的在線監(jiān)測與數(shù)據(jù)記錄。核心信息如下:
  1. 測定原理
    紫外吸收法(UV-254 nm),符合 JIS B 7957、US EPA EQOA-0914-003 要求,零點無漂移,無需化學試劑。
  2. 量程與精度
    • 標準量程:0 – 1.000 ppm(Vol)
    • 可選量程:0 – 100 ppm / 0 – 1 000 ppm(EG-3000-H)
    • 分辨率:1 ppb(0.001 ppm)
    • 線性度:±1 % F.S.
    • 重復性:±0.5 % F.S.
    • 響應時間:T90 ≤ 30 s(樣氣流量 0.8 L/min)
  3. 樣氣條件
    • 流量:0.5 – 1.0 L/min(內置泵抽吸)
    • 溫度:5 – 45 ℃
    • 濕度:< 85 %RH(無凝露)
    • 壓力:大氣壓 ±10 kPa(可配減壓閥)
  4. 顯示與輸出
    • 7 英寸彩色觸控,實時數(shù)字 + 曲線同屏
    • 單位切換:ppm / mg/m3 / ppb
    • 接口:USB ×2、RS-485(Modbus-RTU)、4-20 mA、報警接點 ×2
    • 數(shù)據(jù)記錄:內置 8 GB,1 s – 60 min 間隔,CSV 導出
  5. 功能特點
    • 自動校零:內置臭氧洗滌器,一鍵校零,無需外接零氣
    • 自動跨度校準:可選內置臭氧發(fā)生器(EG-3000-CAL),5 min 完成 0.8 ppm 跨度標定
    • 高低報警:可設兩級閾值,聲光 + 繼電器輸出
    • 菜單語言:日/英/中切換
    • 臺式/面板兩用:附折疊支架,亦可 96 × 96 mm 面板嵌入
  6. 應用示例
    • 半導體潔凈室:光刻、清洗工序 O? 殘留監(jiān)測
    • 液晶面板:干法蝕刻后臭氧分解設備效率確認
    • 水處理:臭氧接觸池尾氣 0-1 ppm 監(jiān)控
    • 食品/醫(yī)療:殺菌室泄露檢測,確保 < 0.1 ppm 人員安全限
  7. 維護與耗材
    • UV 燈壽命:約 8 000 h(可現(xiàn)場更換)
    • 臭氧洗滌器顆粒:每 12 個月更換一次
    • 進氣過濾器:每 6 個月更換(可水洗重復使用 2 次)
  8. 主機規(guī)格
    • 尺寸:W 220 × D 280 × H 120 mm,重量 3.2 kg
    • 電源:AC 100-240 V 50/60 Hz 40 W
    • 防護:IP30(可選 IP54 攜帶箱)
一句話:EG-3000 采用 UV-254 nm 吸收法,0-1 ppm 段分辨率達 1 ppb,內置泵與自動校零,可臺式或面板安裝,適合半導體、液晶、水處理等場景對臭氧進行高精度在線監(jiān)視與數(shù)據(jù)記錄。


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