產(chǎn)品資料
半導(dǎo)體用高純氣體在線交換式氣體加熱器
產(chǎn)品名稱: 半導(dǎo)體用高純氣體在線交換式氣體加熱器
產(chǎn)品型號(hào): S/M/L系列
產(chǎn)品特點(diǎn): 半導(dǎo)體用高純氣體在線交換式氣體加熱器日本 WATTY（ワッティ）S/M/L 系列是專為半導(dǎo)體?FPD 產(chǎn)線高純氣體設(shè)計(jì)的在線、交換式（Hot-Swap）氣體加熱器，可在不中斷工藝、不暴露大氣的情況下快速更換加熱芯，實(shí)現(xiàn)高純氣體（N?、H?、CDA、Ar、He 等）恒溫供應(yīng)，廣泛應(yīng)用于光刻機(jī)溫控、CVD/ALD 前驅(qū)劑載氣、面板 PLASMA 清洗、EUV 真空管路等。? 核心賣點(diǎn)交換式（Ca
半導(dǎo)體用高純氣體在線交換式氣體加熱器 的詳細(xì)介紹
半導(dǎo)體用高純氣體在線交換式氣體加熱器
半導(dǎo)體用高純氣體在線交換式氣體加熱器
日本 WATTY（ワッティ）S/M/L 系列是專為半導(dǎo)體?FPD 產(chǎn)線高純氣體設(shè)計(jì)的在線、交換式（Hot-Swap）氣體加熱器，可在不中斷工藝、不暴露大氣的情況下快速更換加熱芯，實(shí)現(xiàn)高純氣體（N?、H?、CDA、Ar、He 等）恒溫供應(yīng)，廣泛應(yīng)用于光刻機(jī)溫控、CVD/ALD 前驅(qū)劑載氣、面板 PLASMA 清洗、EUV 真空管路等。
? 核心賣點(diǎn)
- 交換式（Cartridge）結(jié)構(gòu)：30 秒完成加熱芯更換，無(wú)需停氣、無(wú)需工具
- 高純對(duì)應(yīng)：全 316L EP 管 + VCR 接頭，Ra ≤ 0.25 µm，Particle ≤ 1 pc/L (≥0.2 µm)
- 高溫高精度：最高 200 °C，控制精度 ±0.5 °C（@ 10 L/min）
- Hot-Swap：雙腔體旁路設(shè)計(jì)，在線切換加熱芯，O? 暴露 < 10 ppm?min
- 多容量：S/M/L 三系列，流量 3 – 200 L/min 全覆蓋
- 認(rèn)證：SEMI F20、SEMI S2、RoHS、CE 壓力容器豁免
?? 系列規(guī)格速覽
| 系列 | 流量范圍 | 最高出口溫度 | 加熱功率 | 接管口徑 | 全長(zhǎng) | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| S | 3 – 20 L/min | 200 °C | 0.5 kW | ?" VCR | 235 mm | 2.8 kg |
| M | 20 – 80 L/min | 200 °C | 1.5 kW | ?" VCR | 315 mm | 5.5 kg |
| L | 80 – 200 L/min | 200 °C | 3.0 kW | ?" VCR | 410 mm | 9.2 kg |
日本 WATTY（ワッティ）S/M/L 系列是專為半導(dǎo)體?FPD 產(chǎn)線高純氣體設(shè)計(jì)的在線、交換式（Hot-Swap）氣體加熱器，可在不中斷工藝、不暴露大氣的情況下快速更換加熱芯，實(shí)現(xiàn)高純氣體（N?、H?、CDA、Ar、He 等）恒溫供應(yīng)，廣泛應(yīng)用于光刻機(jī)溫控、CVD/ALD 前驅(qū)劑載氣、面板 PLASMA 清洗、EUV 真空管路等。
? 核心賣點(diǎn)
- 交換式（Cartridge）結(jié)構(gòu)：30 秒完成加熱芯更換，無(wú)需停氣、無(wú)需工具
- 高純對(duì)應(yīng)：全 316L EP 管 + VCR 接頭，Ra ≤ 0.25 µm，Particle ≤ 1 pc/L (≥0.2 µm)
- 高溫高精度：最高 200 °C，控制精度 ±0.5 °C（@ 10 L/min）
- Hot-Swap：雙腔體旁路設(shè)計(jì)，在線切換加熱芯，O? 暴露 < 10 ppm?min
- 多容量：S/M/L 三系列，流量 3 – 200 L/min 全覆蓋
- 認(rèn)證：SEMI F20、SEMI S2、RoHS、CE 壓力容器豁免
?? 系列規(guī)格速覽
| 系列 | 流量范圍 | 最高出口溫度 | 加熱功率 | 接管口徑 | 全長(zhǎng) | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| S | 3 – 20 L/min | 200 °C | 0.5 kW | ?" VCR | 235 mm | 2.8 kg |
| M | 20 – 80 L/min | 200 °C | 1.5 kW | ?" VCR | 315 mm | 5.5 kg |
| L | 80 – 200 L/min | 200 °C | 3.0 kW | ?" VCR | 410 mm | 9.2 kg |
相關(guān)產(chǎn)品
產(chǎn)品目錄
-
機(jī)械設(shè)備
- 磁選機(jī)
- 純水器
- 超聲波清洗器
- 壓力傳感器
- 流量控制器
- 乳缽機(jī)
- 水準(zhǔn)儀
- 變送器
- 臭氧檢測(cè)儀
- 色譜儀
- 拋光機(jī)
- 加熱器
- 張力計(jì)
- 混凝土檢測(cè)儀
- 加熱板
- 儲(chǔ)藏
- 壓力機(jī)
- 熱壓機(jī)
- 破碎機(jī)
- 振蕩器
- 電爐
- 分散機(jī)
- 切割機(jī)
- 往復(fù)泵
- 攪拌
- 色選機(jī)
- 擂潰
- 臭氧發(fā)生器
- 氣體發(fā)生器
- 混合器
- 移液器
- 高速相機(jī)
- 涂布機(jī)
- 鍍膜機(jī)
- 試驗(yàn)機(jī)
- 球磨機(jī)
- 均質(zhì)機(jī)
- 脫泡機(jī)
- 點(diǎn)焊機(jī)
- 干燥機(jī)
- 研磨機(jī)
- 密度儀
- 擂搗機(jī)
- 混合設(shè)備
- 除鐵機(jī)
- 電子
- 填充頭
- 裝置
- 點(diǎn)膠筆
- 傳感器
- 冷卻器
- 機(jī)器
- 壓鑄機(jī)
- 氧氣監(jiān)視器
- 系統(tǒng)
- 粉碎機(jī)
- 輪廓儀
- 測(cè)量針
- 過濾器
- 比色計(jì)
- 亮度計(jì)
- 噴霧干燥機(jī)
- 真空加熱裝置
- 蒸發(fā)器
- 化學(xué)合成反應(yīng)裝置
- 溫度濕度計(jì)
- 真空泵
- 循環(huán)排水器
- 化學(xué)反應(yīng)裝置
- 工業(yè)設(shè)備
聯(lián)系我們
聯(lián)系人：林經(jīng)理
地址：深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002
Email：akiyama_linkkk@163.com
郵編：
QQ：909879999
地址：深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002
Email：akiyama_linkkk@163.com
郵編：
QQ：909879999
在線客服