半導(dǎo)體制造應(yīng)用臺(tái)式非接觸磁場(chǎng)測(cè)量高斯計(jì)

半導(dǎo)體制造應(yīng)用臺(tái)式非接觸磁場(chǎng)測(cè)量高斯計(jì)

半導(dǎo)體制造應(yīng)用 · 臺(tái)式 · 高斯/特斯拉 · 非接觸磁場(chǎng)
0.1 mG – 35 T · 0.01 % 精度 · 1 MHz 采樣 · 重量 2.1 kg · 5 年壽命

一、產(chǎn)品定位

• 半導(dǎo)體制造應(yīng)用：離子注入、MOCVD、磁控濺射、磁夾具、晶圓搬運(yùn)
• 臺(tái)式高斯計(jì)/特斯拉計(jì)：非接觸磁場(chǎng)測(cè)量，0.1 mG – 35 T，臺(tái)式 2.1 kg
• F71 系列：0.1 mG – 35 T，0.01 % 精度，1 MHz 采樣，5 年壽命

二、核心技術(shù)參數(shù)（F71）

三、功能亮點(diǎn)

1. 0.1 mG – 35 T 全范圍：從地球磁場(chǎng)到 35 T 全范圍，半導(dǎo)體磁場(chǎng)全覆蓋
2. 0.01 % 超高精度：0.01 % RDG，磁場(chǎng)重復(fù)性 ≤ 0.01 mG
3. 1 MHz 高速采樣：1 MHz 實(shí)時(shí)采樣，適合快速磁場(chǎng)變化
4. ≤ 1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安裝，無(wú)泄漏
5. 2.1 kg 超輕：A5 底面積，可手提移動(dòng)，實(shí)驗(yàn)室即用
6. 5 年壽命：探頭 + 主機(jī)，5 年免維護(hù)

四、典型應(yīng)用系統(tǒng)

半導(dǎo)體磁控濺射┌─ 真空腔體 ─┐│               │磁場(chǎng)← F71 ← 真空饋通 BNC│               │└─ PLC/DCS ────┘

• 磁場(chǎng) 0.1 T – 1 T，0.01 % 精度，1 MHz 實(shí)時(shí)
• RS-485 實(shí)時(shí)輸出，PLC 閉環(huán)控制

五、實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)（半導(dǎo)體驗(yàn)證）

• 真空：1×10?? Pa，25 ℃
• F71：
• 磁場(chǎng) 0.1 T（±0.01 %）
• 采樣 1 MHz（1 MHz）
• 壽命 5 年（連續(xù)運(yùn)行）

六、選型與配件

七、維護(hù)與可靠性

• 探頭：5 年壽命，免維護(hù)
• BNC：年漂移 < 0.1 %，無(wú)需校準(zhǔn)
• 真空饋通：每月清潔一次
• 整機(jī) 2 年質(zhì)保，10 年配件保障