半導(dǎo)體分析用緊湊型全真空電磁式真空閥

半導(dǎo)體分析用緊湊型全真空電磁式真空閥

旋泵專用 · 電磁瞬時關(guān)斷 · 零油逆流 · 緊湊 A5 尺寸
響應(yīng) < 10 ms · 壽命 10? 次 · 真空側(cè)

一、產(chǎn)品定位

• 旋泵專用：油旋片泵、活塞泵、滑閥泵停機(jī)瞬間防止油霧逆流
• 電磁瞬時關(guān)斷：< 10 ms 響應(yīng)，斷電即鎖死，真空腔零油污染
• 緊湊型：A5 紙尺寸，可直接貼泵體安裝，不額外占地
• 零油逆流：真空側(cè)保持潔凈，適合分析、半導(dǎo)體、實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)

二、核心技術(shù)參數(shù)（AYUMI 電磁真空閥）

三、功能亮點(diǎn)

1. < 10 ms 瞬時關(guān)斷：斷電瞬間鎖死，零油霧逆流，真空腔無油污染
2. >10? 次壽命：真空專用電磁線圈，連續(xù)開關(guān)無磨損
3. 全真空范圍：1×10?3 Pa → 大氣壓，不卡死、不漏氣
4. A5 緊湊尺寸：貼泵體安裝，不額外占地，適合小型泵
5. 真空側(cè)：316L + FKM，無油潤滑，Class 100 兼容
6. DC 12 V / 24 V 可選：直接接泵電源，無需額外變壓器

四、典型應(yīng)用接線圖

旋片泵 + AYUMI 電磁閥┌─ 真空腔 ─┐│           │進(jìn)口← 電磁閥 ← 旋片泵│           │└─ 回大氣 ──┘

• 電磁閥線圈與泵電源并聯(lián)（DC 24 V）
• 泵斷電 → 閥瞬時關(guān)斷 < 10 ms，腔體保持真空，零油逆流

五、實(shí)測數(shù)據(jù)（實(shí)驗(yàn)室驗(yàn)證）

• 旋片泵 2 L/min，斷電測試 100 次
• AYUMI 電磁閥：
• 關(guān)斷時間 8 ms（平均）
• 真空保持 >1 h，無油霧回流
• 壽命 >10? 次（連續(xù)開關(guān) 24 h×365 d）

六、選型與配件

七、維護(hù)與可靠性

• 電磁線圈：真空專用，壽命 >10? 次，免維護(hù)
• 密封圈：FKM，壽命 >5 年，可更換
• 閥體：316L，無磨損，年漂移 < 0.5 %
• 整機(jī) 2 年質(zhì)保，10 年配件保障

八、結(jié)論