標準超精密定位工作臺直動壓電滑臺

標準超精密定位工作臺直動壓電滑臺
分為共振頻率高、強調高速響應的「直接驅動機構」和較長行程的「位移放大機構」。分為共振頻率高、強調高速響應的「直接驅動機構」和較長行程的「位移放大機構」。分為共振頻率高、強調高速響應的「直接驅動機構」和較長行程的「位移放大機構」。分為共振頻率高、強調高速響應的「直接驅動機構」和較長行程的「位移放大機構」。分為共振頻率高、強調高速響應的「直接驅動機構」和較長行程的「位移放大機構」。

• 壓電元件直接移動工作臺的機構。

• 行程短，有優(yōu)異的解析度和反應能力。

• 剛性高，即使在重負載下也能穩(wěn)定定位。

• 壓電元件直接移動工作臺的機構。

• 行程短，有優(yōu)異的解析度和反應能力。

• 剛性高，即使在重負載下也能穩(wěn)定定位。

• 壓電元件直接移動工作臺的機構。

• 行程短，有優(yōu)異的解析度和反應能力。

• 剛性高，即使在重負載下也能穩(wěn)定定位。

• 壓電元件直接移動工作臺的機構。

• 行程短，有優(yōu)異的解析度和反應能力。

• 剛性高，即使在重負載下也能穩(wěn)定定位。

• 壓電元件進行驅動，具有設計行程放大機構提升壓電伸長率。

• 根據放大倍率，可獲得比直接驅動機構數(shù)倍至10倍以上的行程。

• 內藏位移感測器的回授控制，可以保持優(yōu)秀的反復定位精度。

• 壓電元件進行驅動，具有設計行程放大機構提升壓電伸長率。

• 根據放大倍率，可獲得比直接驅動機構數(shù)倍至10倍以上的行程。

• 內藏位移感測器的回授控制，可以保持優(yōu)秀的反復定位精度。

• 壓電元件進行驅動，具有設計行程放大機構提升壓電伸長率。

• 根據放大倍率，可獲得比直接驅動機構數(shù)倍至10倍以上的行程。

• 內藏位移感測器的回授控制，可以保持優(yōu)秀的反復定位精度。