日本shibaura皮拉尼真空計儀表GPW系列

產(chǎn)品名稱: 日本shibaura皮拉尼真空計儀表GPW系列

產(chǎn)品型號:

產(chǎn)品特點(diǎn): 日本shibaura皮拉尼真空計儀表GPW系列
GPW系列的特點(diǎn)
廣域測量：可以從大氣壓到5×10 -2 Pa進(jìn)行廣域測量。
省線：通過集成傳感器和控制器實現(xiàn)省線，節(jié)省空間和省電
可見度更高：配備可確認(rèn)異常的LED
一鍵式調(diào)節(jié)：一鍵式可調(diào)節(jié)大氣壓和零點(diǎn)
可維護(hù)性：易于更換探頭
燈絲材料/鉑（Pt）：燈絲材料使用具有高耐腐蝕性的鉑。
測量值輸出信號：壓力為0至10V對數(shù)輸出標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
改善的抗沖擊性：

日本shibaura皮拉尼真空計儀表GPW系列 的詳細(xì)介紹

日本shibaura皮拉尼真空計儀表GPW系列

用

用于各種制造設(shè)備（例如太陽能電池，F(xiàn)PD，半導(dǎo)體和電子零件）的低真空區(qū)域中的過程控制
用于各種工業(yè)設(shè)備（例如熔爐）的低真空區(qū)域中的過程控制
用于在具有許多處理腔室的各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域中進(jìn)行過程控制，例如在線型和單晶片型

規(guī)范

模型		GPW-1	GPW-2
可連接探針		之一
自適應(yīng)探頭		SWP-16（NW-16）
測量壓力范圍		5.0×10 ^-2?1.0 ×10 ⁵帕
測量精度*		1×10 ^-1至1××10 ⁴ Pa：±10％ 5.0×10 ^-2至1.0×10 ^-1 Pa，1×10 ⁴ Pa至1×10 ⁵ Pa：±20％
重復(fù)性		1 x 10 ^-1 Pa至1 x 10 ⁴ Pa：±2％
采樣時間		50毫秒5次移動平均處理
測量值輸出		輸出電壓DC 0?10 V
		壓力指示（對數(shù)輸出）1.7 V至8.0 V，1 V /位
	更新時間	50毫秒
控制輸入??信號		集電極開路輸入，負(fù)邏輯 ADJ調(diào)整（零點(diǎn)調(diào)整，大氣壓調(diào)整）	--
控制輸出信號		集電極開路輸出負(fù)邏輯[額定值：30 VMAX，50 mAMAX，70 mW] 錯誤信號設(shè)定點(diǎn)1、2	--
監(jiān)控設(shè)定點(diǎn)		設(shè)定點(diǎn)1，2：0至10 V日志輸出	--
串行通訊規(guī)格		--	RS232C / RS485
LED顯示屏		電源/錯誤：電源，錯誤指示燈
LED顯示屏		SET-1：設(shè)定點(diǎn)1 LED SET-2：設(shè)定點(diǎn)2 LED	--
燈絲材料		鉑
工作溫度極限		10-40°攝氏度
工作濕度范圍		15至80％（但無凝結(jié)）
IP防護(hù)等級		IP30（傳感器單元）
安裝姿勢		沒有限制
電源電壓		DC 18 V?30 V，2 W（開機(jī)時為4.8 W）
I / O連接器		D-sub15針（M2.6螺釘）
大眾		150克（含SWP-16）
外形尺寸（電源部分）W xD x H（毫米）		70 x 46 x 28
符合標(biāo)準(zhǔn)		CE認(rèn)證