Napson非接觸式電阻率測(cè)量?jī)xEC-80P是一種采用渦電流原理進(jìn)行非接觸式電阻率測(cè)量的設(shè)備，適用于測(cè)量2-12寸晶圓，能夠測(cè)量Si, SiC, GaN, GaAs等低阻及高阻半導(dǎo)體材料。該設(shè)備通過脈沖電壓激勵(lì)方法作為測(cè)量原理，可以在不損壞樣品的情況下進(jìn)行測(cè)量。渦流法主要用于非接觸式測(cè)量，可測(cè)量1E-3（1m）至1E + 4（10k）Ω/□電阻范圍，適用于半導(dǎo)體，化合物半導(dǎo)體，液晶和新型碳基材料等廣泛領(lǐng)域的測(cè)量。此外，EC-80P便攜型非接觸電阻率量測(cè)儀可測(cè)量PN極性，并具有溫度補(bǔ)償功能，多個(gè)量程探頭可選。